BURKERT841型气体流量控制器

    BURKERT841型气体流量控制器必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。 设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，8741 型也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。 BURKERT841型气体流量控制器借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

技术数据：
额定流量范围：10 mlN / min至160 lN / min（N2）
调低比例：50：1，可选100：1
工作介质：中性，无污染气体，其他要求
校准介质：使用气体或空气
大操作压力（超压至大气压力）：10巴（145 psi），MFC大。 压力取决于阀的孔口
介质温度：-10°C至+70°C（-10°C至+60°C，含氧气）
环境温度：-10至+50°C（根据要求可提供更高的温度）
测量精度：±0.8％o.R. ±0.3％F.S.（1分钟预热时间后）
重复性：±0.1％F.S.
沉降（MFC）/响应（MFM）时间（t95％）：<300 ms

工作原理：
    实际流量由传感器检测。这根据热原理工作，该原理具有提供独立于压力和温度的质量流量的优点。总气流的一小部分被转移到小的专门设计的旁路通道中，以确保层流条件。传感器元件是 芯片浸入该流动通道的壁中。 采用MEMS技术生产的芯片包含一个加热电阻器和两个对称布置在加热器上游和下游的温度传感器（热电堆）。 热电堆的差分电压是通过流量传感器的质量流率的度量。 校准过程实现了传感器信号与通过设备的总流量的分配。