329084BURKERT8741型气体质量流量计

329084BURKERT8741型气体质量流量计必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，8741 型也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。8741型借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

329084BURKERT8741型气体质量流量计主要特点：
采用MEMS技术直接测量流量
高精度和可重复性
响应时间非常快
现场总线通信基于CANopen
额定流量范围从0.010 lN / min到160 lN / min
通过配置存储器轻松更换设备
有两个版本：8741标准和8741büS/ CANopen

技术数据：
额定流量范围：10 mlN / min至160 lN / min（N2）
调低比例：50：1，可选100：1
工作介质：中性，无污染气体，其他要求
校准介质：使用气体或空气
大操作压力（超压至大气压力）：10巴（145 psi），MFC大。 压力取决于阀的孔口
介质温度：-10°C至+70°C（-10°C至+60°C，含氧气）
环境温度：-10至+50°C（根据要求可提供更高的温度）
测量精度：±0.8％o.R. ±0.3％F.S.（1分钟预热时间后）
重复性：±0.1％F.S.
沉降（MFC）/响应（MFM）时间（t95％）：<300 ms

    实际流量由传感器检测。 这根据热原理运行，其优点是提供了与压力和温度无关的质量流量。总气流的一小部分被转移到小的专门设计的旁路通道中，从而确保层流条件。传感器元件是 一个浸入该流道壁的芯片。 采用MEMS技术生产的芯片包含一个加热电阻器和两个对称布置在加热器上游和下游的温度传感器（热电堆）。 热电堆的差分电压是通过流量传感器的质量流率的度量。 校准过程实现了传感器信号与通过设备的总流量的分配。

    流体的体积是流体温度和压力的面数，是一个因变里， 而流体的质里是一个不愿时间空间温度、 压的变化面变化的量。如前所述，常用的流里计中，如孔板流里计层流质里 流里计、涡轮流里计 街流里计电球态里计、 转子流里计、招声波流里计和椭圆齿轮流里计等的流里则里值是流体的体积流里在科学研究、 生产过程控制、质里管理经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体里-般多为质里。采用上述流里计仅仅则得流体的体积流里往往不能满足人们的要求。通常还需要设法获得充体的质里流里。

关于配置的注意事项：
    为了正确选择MFC内的执行器孔口，不仅需要获得大流量Qnom，而且还应该知道在此流量Qnom下的MFC（p1，p2）之前和之后的压力值。通常，这些压力是与整个设备的整体进口和出口压力不一样，因为通常在控制器之前和之后都存在附加的流量电阻器（管道，附加的截止阀，喷嘴等）。

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